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流化床反应器(FB-CVD)属于公司的明星产品之一,粉体材料在反应器内形成流化态,进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。适用于D50=2~1000μm的粉体材料流化。
流化床反应器(FB-CVD)属于公司的明星产品之一,粉体材料在反应器内形成流化态,进行包覆、烧结等工艺。以流化床为反应器的CVD工艺具有包覆均匀等特点。适用于D50=2~1000μm的粉体材料流化。
| 投料量 | 1L~1000L,更高容积可定制 |
| 气源 | H2、N2、Ar、O2、CO2、CH4、C2H2、SiH4、C3H6、水蒸气等 |
| 操作温度 | ≤950℃,更高温度可定制 |
| 材料处理要求 | D50≥2μm |
| 型号 | 款式 | 量级 |
|---|---|---|
| FBCVD-10 | 1 KG | 实验级 |
| FBCVD-20 | 3 KG | 实验级 |
| FBCVD-100 | 20 KG | 中试级 |
| FBCVD-500 | 100 KG | 商业级 |
| FBCVD-1000 | 200 KG | 商业级 |
| FBCVD-1500 | 300 KG | 商业级 |
| FBCVD-2500 | 500 KG | 商业级 |